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技术参数

硅片种类 Wafer Category 测控片 Test/Control/Dummy Wafer

晶　　面 Orientation （100）

类型/掺杂 P／Boron （P型/硼）

电阻率 Resistivity (ohmcm) ＞1Ω・cm 或客户定制

厚　　度 Thickness 725±25μｍ

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产品描述

参数

技术参数

硅片种类 Wafer Category 测控片 Test/Control/Dummy Wafer

晶　　面 Orientation （100）

类型/掺杂 P／Boron （P型/硼）

电阻率 Resistivity (ohmcm) ＞1Ω・cm 或客户定制

厚　　度 Thickness 725±25μｍ

厚度偏差 TTV ＜5.0μｍ

　　　　 Warp ＜50μｍ

　　　　 Bow ＜50μｍ

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